I-PEX Piezo Solutions株式会社は、福岡県小郡市のI-PEXキャンパス内に、単結晶PZT成膜技術を強みとする圧電MEMSファウンドリ事業のさらなる成長と需要拡大に対応するため、新たなクリーンルーム（i.Fab）を設置いたしました。

当社の研究成果が、応用物理学分野の学術誌「Japanese Journal of Applied Physics」に掲載されました。 今回の研究では、このPt/ZrO₂/Si多層構造の界面を原子レベルで詳細に解析し、高品質な結晶成長が実現される仕組みを明らかにしました。その結果、ジルコニアと白金の境界部分に非常に薄い反応層が形成され、この層が異なる材料同士の結晶構造の違いを吸収する「橋渡し」の役割を果たしていることを発見しました。これにより、本来は結晶成長が難しい材料同士でも、高品質な単結晶薄膜を形成できることが分かりました。

I-PEX Piezo Solutionsが提供する Pt/ZrO₂ バッファ層付き Si 基板「KRYSTAL Wafer」を活用し、強相関酸化物である LaNiO₃ 薄膜をシリコン基板上に高品質に成長させ、電気的操作によって熱伝導率を可逆的に制御する技術を実現しました。本研究は、KRYSTAL Wafer がもつ優れたエピタキシャル成長環境によって LaNiO₃ の高度な機能発現が可能になったことを示すものであり、熱制御デバイス開発に向けた新たな技術的可能性を切り開く成果となっています。

I-PEX Piezo Solutions株式会社は、2025年11月4日（火）から5日（水）にかけて日本・姫路市で開催されたPiezoMEMS2025ワークショップに参加しました。

公益社団法人日本表面真空学会が主催するスパッタリングおよびプラズマプロセス技術及びその関連分野の発展に寄与する顕著な業績を表彰することを目的としたSP部会賞において「2024年度SP部会賞」を受賞いたしました。

I-PEX Piezo Solutionsは、2025年1月29日(水)～31日(金)に東京ビッグサイトにて開催中のMEMSセンシング&ネットワークシステム展2025に出展しています。

I-PEX Piezo Solutionsは、2024年10月15日(火)～18日(金)に幕張メッセで開催されるCEATEC 2024に出展します。