I-PEX Piezo Solutionsは、2025年1月29日(水)～31日(金)に東京ビッグサイトにて開催中のMEMSセンシング&ネットワークシステム展2025に出展しています。

単結晶圧電薄膜成膜・MEMS加工技術を用いて高性能な圧電MEMSの開発をサポートする「MEMSファウンドリサービス」をご紹介。
また、開発中の単結晶薄膜ウエハー（チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）、窒化アルミニウム（AlN））、ZrO2バッファー層成膜用蒸着装置「ZrO2真空蒸着装置」などをご紹介しています。

ブースNo. 5D-02にて、皆様のお越しをお待ちしています！