微机电系统（MEMS）器件已作为电子元件广泛应用于我们身边的家电、汽车、物联网产品、通信和医疗产品等领域，预计今后 MEMS 的应用还会继续扩大。本页将详细介绍在我们熟悉的产品中应用最广泛的利用半导体处理技术的微机电系统。

通过DLC成膜的等离子控制技术与无机晶体控制技术相结合，我们成功地将被认为极难合成的压电材料单晶化， 并建立了制造方法。 单晶技术能够应用在各种半导体加工，同时表现出比现有多晶材料更高的性能。

KRYSTAL^® Wafer晶圆技术的关键在于其独特的缓冲层，尤其是当中氧化锆的形状改变。 在铂或氧化锆的界面表面上，微小的金字塔（纳米金字塔）结构能有规律地生长。