MEMS 相关技术用语
MEMS装置
| MEMS加速度感测器 | MEMS陀螺仪感测器 | MEMS扬声器 | MEMS麦克风 |
| MEMS压力感测器 | MEMS超音波感测器 | 喷墨打印头 | RF滤波器 |
| MEMS自动对焦 | MEMS反射镜 | MEMS光开关 | MEMS微泵 |
| MEMS流量感测器 | MEMS共振器 | MEMS振动发电元件 | MEMS气味感测器 |
应用项目技术
| LiDAR技术 | 影像稳定器技术 | 红外线热影像技术 | 局部真空技术 |
MEMS装置
MEMS加速度感测器
加速度感测器,顾名思义是用作检测加速度或单位时间内的速度变化。 随着近年MEMS技术的广泛应用,装置变得越来越轻巧,能应用于各种产品例如：汽车、电子游戏机和智能手机当中。 加速度感测器有多种类型,使用KRYSTAL® Wafer 的 PZT 压电加工能有助提高性能。
MEMS陀螺仪感测器
陀螺仪感测器用作检测角速度并将资讯转换为信号,信号能检测汽车导航系统中的行驶轨迹,也能校正数码相机的抖动及稳定图像。 MEMS陀螺仪在检测微小动力水准方面具有出色的表现,通过使用具有高输出电荷的材料,便能获得更强的信号去提高精准度,进一步推升动作的追踪功能。
MEMS扬声器
压电扬声器的压电元件,通过振动板加入压电薄膜将电气讯号转换为机械振动,薄膜振动继而产生声音。 具有高耐压和高位移性能的KRYSTAL® Wafer单晶 PZT 薄膜,能产生前所未有的声压水准,低介电常数的特性也有助于降低功耗。
MEMS麦克风
与扬声器的音讯输出相反,压电材料在麦克风上是用作音讯输入。 当压电薄膜接收到声音时,薄膜便会震动,进而将震动转化为电气讯号。 KRYSTAL® Wafer的压电薄膜,具有低介电常数的压电特性,能有助输出较大的电荷,表现更出色的信噪比(S/N)以外,也能检测到微细声音。
MEMS压力感测器
压力感测器用作检测气体或液体等压力,将资讯转换为电气讯号输出。 压力感测器分别有多种类型,其中PZT薄膜适用于压阻式（扩散）压力感测器。
MEMS超音波感测器
超音波感测器具有发射和接收两种功能。
发射器发出的超音波被物体反射,接收器检测到反射波以确定物体的存在及距离。 压电薄膜均适用于发射器和接收器。
具低介电常数的接收器,能够提高检测灵敏度,也能实现元件小型化的可能。
喷墨打印头
压电薄膜用于喷墨打印头喷射墨滴的部分,薄膜的特性可影响墨水类型的选用和喷出量。
KRYSTAL® Wafer的 PZT 执行器具有高位移和低介电常数,可减少在运作过程中释放的热量及降低热负荷,大幅提升打印头的密度。
RF滤波器
射频(RF)滤波器用于通信终端,频段为800~2500 MHz。 常见的射频滤波器类型是SAW,BAW和TC-SAW。 压电薄膜都应适用于滤波器当中。
MEMS自动对焦
以压电元件为基础用作数码相机,智能手机和其他光学设备镜头自动对焦的执行器,主要有两种机制原理：
1.通过镜头本身的移动
2.通过改变流体形状调整焦距
不管是以上那种方式,均要求以高位移,低功耗作为前提。 KRYSTAL® Wafer压电薄膜在这种相互冲突的特性要求下,依然能取得出色的可靠表现。
MEMS反射镜
压电MEMS适用于抬头显示器(HUD)的执行器应用,有助于降低功耗和实现微型化。
另外,也适用于镭射投影机中镜子的执行器。
MEMS光开关
压电材料包括BaTiO₃晶体和LiNbO₃晶体等,通过逆压电以及电光效应如Pockels 效应（Pockels effect）和Kerr效应(Kerr effect),能够应用于电光调制器。
光开关的作用是切换光通信网路中继点的光信号路线,压电材料适用于当中驱动微反射镜的致动器。
MEMS微泵
压电MEMS的PZT薄膜可用于隔膜式微泵。 体积小巧轻便的泵,是连续输送微量液体的理想选择。
MEMS流量感测器
在各种类型的流量计中,卡门涡流流量计通过使用压电元件检测流体在通过物体时产生的“卡门涡流”。
MEMS共振器
压电共振元件通过压电薄膜共振器(FBAR)技术,能够应用于电讯领域。
MEMS振动发电元件
振动发电是一种能量收集技术,利用压电元件从振动能量中发电。 振动发电元件也可用作感测器元件的电源。
MEMS气味感测器
当气味分子粘附在压电薄膜上涂覆的敏感膜时,感测器能够检测到压电薄膜共振频率的细微变化。
KRYSTAL® Wafer的压电薄膜具有低损耗高位移的特性,能令共振频率的峰值更明确,从而提高频率变化的解析度,有助提升检测灵敏度。
应用项目技术
LiDAR技术
LiDAR (Light Detection and Ranging)雷射探测及测距是一种使用镭射光进行检测和距离测量的技术。 这项技术在自动驾驶中尤为重要,近年也在包括手机在内的行动终端中得到广泛应用。
用途
E.g.: 自动驾驶,先进驾驶辅助系统
影像稳定器技术
压电材料适用于稳定图像位置等装置,例如数码相机的防手震功能。
用途
E.g.: 数码相机
红外线热影像技术
热释电红外线感测器利用热释电陶瓷效应来检测红外光。 当接收到红外线, 压电材料自发极化而产生温度变化,受光部分会产生与热释电系数成正比的电荷,电荷立即被中和,感测器能检测到产生的瞬时电压。
用途
E.g.: 移动感测器, 空调
局部真空技术
通过使用KRYSTAL® Wafer的PZT薄膜,有望能实现「局部真空」这项备受关注的未来新技术。
例子如,在机器人手臂的末端,安装一个产生低真空的微型泵去抓住物体,当中只需要一根电源线,即可透过PZT薄膜去驱动设备,大幅简化了设计。
用途
E.g.: 工业用机械手臂
