晶圆产品 (KRYSTAL® Wafer)

KRYSTAL Wafer

 

KRYSTAL® Wafer

优质的KRYSTAL® Wafer用于压电MEMS，通过ZrO2缓冲为各种压电材料进行单晶化。

 

 

标准PZT KRYSTAL® Wafer

Standard KRYSTAL Wafer Product List
  • 标准基板尺寸: 4英寸, 6英寸, 8英寸尺寸

顶电极单晶PZT晶圆

Krystal Wafer Standard

 

单晶PZT晶圆

Krystal Wafer Standard

 

底电极SRO/Pt晶圆 (SRO/Pt/ZrO2)

Krystal Wafer Standard

 

底电极Pt晶圆 (Pt/ZrO2)

Krystal Wafer Standard

 

ZrO2缓冲晶圆 (ZrO2)

Krystal Wafer Standard

除了在硅片上进行标准沉积外，我们还提供定制沉积服务，例如不同厚度沉积、在SOI硅片上沉积以及在客户提供的硅片上沉积。

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新技术发展

  • 多层单晶PZT (2层PZT) 薄膜晶圆

2-layer PZT wafer此外，我们还在应用卓越的沉积技术开发多层单晶 PZT 硅片。改善了压电特性，实现了高功率和高精度致动器驱动。
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  • 氮化铝 (AlN) 薄膜晶圆

AlN wafer采用我司独特的ZrO₂缓冲层技术，成功在硅片上实现了AlN外延生长。
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Mechanism of KRYSTAL wafer