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I-PEX Piezo Solutions Inc.在福冈县小郡市的I-PEX大学内新建了一座洁净室(i.Fab),旨在推动以单晶PZT成膜技术为优势的压电MEMS代工业务进一步发展,并满足不断增长的市场需求。
我们很高兴地宣布,我们的研究成果已发表于应用物理学领域的一流学术期刊《Japanese Journal of Applied Physics》。在本研究中,我们对Pt/ZrO₂/Si多层结构内的界面进行了原子尺度分析,并阐明了实现高质量晶体生长的机制。研究结果揭示,在氧化锆与铂的界面处形成了一层超薄反应层。该层起到“桥梁”的作用,能够调和两种材料之间的晶体结构差异,从而即使对于原本难以进行外延整合的材料组合,也能实现高质量单晶薄膜的生长。这一成果为基于压电薄膜的高性能MEMS器件的实际应用提供了重要的技术启示。
利用I-PEX Piezo Solutions提供的带Pt/ZrO₂缓冲层的硅衬底“KRYSTAL Wafer”,成功在硅衬底上高质量地生长出强关联氧化物LaNiO₃薄膜,并实现了通过电学操作可逆性调控其热导率的技术。本研究表明,得益于 KRYSTAL Wafer 所具备的优异外延生长环境,LaNiO₃ 得以展现出高度的功能性,这一成果为热控器件的开发开辟了新的技术可能性。
I-PEX Piezo Solutions Inc. 参加了于2025年11月4日(周二)至5日(周三)在日本姬路市举办的PiezoMEMS2025研讨会。
I-PEX Piezo Solutions Inc. 获得了 “2024 年溅射和等离子工艺技术委员会奖”,该奖项旨在表彰为溅射和等离子工艺技术发展做出贡献的杰出成就。
I-PEX Piezo Solutions Inc. 将参加于 2025 年 1 月 29 日(星期三)至 31 日(星期五)在东京有明国际展览中心举办的 “MEMS 传感与网络系统博览会 2025”。
I-PEX Piezo Solutions Inc. 将参展 2024 年 10 月 15 日(星期二)至 18 日(星期五)在幕张展览中心举行的 2024 年 CEATEC 展览会。