什么是 MEMS？
本页将详细介绍微机电系统（MEMS），该系统利用半导体处理技术，最广泛地应用于人们熟悉的产品中。
内容:
什么是 MEMS？
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems: 微机电系统) 是在微尺度上集成机械结构和电子电路的系统。
典型的 MEMS 设备包括加速计、陀螺传感器、压力传感器、微镜、喷墨打印机头、麦克风和扬声器。这些微机电系统设备通常采用半导体加工技术制造和组装，在晶片上使用集成了微机械结构和电子电路的芯片（微机电系统芯片）。
微机电系统（MEMS）已作为电子元件广泛应用于各个领域，包括我们身边的家电、汽车、物联网产品、电信和医疗产品。
MEMS 和半导体技术
广泛使用的微机电系统设备与集成电路芯片类似，都是利用半导体技术制造的。因此，它们都是在非常小的范围内精确制造的。具体来说，就是采用先进的半导体加工方法，如沉积、光刻和蚀刻技术。
半导体加工技术在微机电系统中得到广泛应用的主要原因是，集成电路芯片中使用的半导体硅衬底作为微机电系统的材料，具有优异的机械和电气性能。此外，集成电路技术的进步也促进了硅衬底微细加工技术、集成技术、标准化大规模生产工艺的发展，以及为实现这些工艺而部署的高性能工艺设备，从而大大提高了微机电系统设备的精度、功能、生产率和成本效益。
微机电系统技术利用了集成电路技术所建立的许多制造技术和工艺，从而提高了生产率，降低了成本，使微机电系统在各行各业得到了更多的使用和广泛的应用。
*有些微机电系统使用了半导体技术以外的各种加工技术和材料，如微型加工、三维打印和聚合物材料，也有一些微机电系统没有活动部件，如光学波导和 DNA 芯片。
MEMS 和 IC 之间的区别
微机电系统（MEMS）和集成电路（IC）在制造方法和缩小尺寸技术方面有许多相似之处，但它们的功能、应用和工作原理却有很大不同。MEMS 是与物理运动和测量有关的系统，而 IC 则是纯粹进行电子信号处理的电路。两者都在现代技术中发挥着重要作用，并被用于适合其具体特性的应用中。
集成电路由纯电子电路组成，利用晶体管、电容器和电阻器等处理和控制电信号。集成电路主要用于电子设备的逻辑运算、信号处理和存储等。
另一方面，微机电系统是执行机械操作和物理测量的系统，由传感器和执行器（驱动单元）组成。根据用途的不同，微机电系统在应用、外观、内部结构和尺寸上有很大差异。典型的例子包括加速度传感器、压力传感器、麦克风和扬声器。
如果把专门从事信息处理和记忆功能的集成电路比作人的大脑，那么把机械运动和传感器结合在一起而具有各种物理功能的微机电系统（MEMS）就可以比作人体的机能和感觉器官。
