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利用I-PEX Piezo Solutions提供的带Pt/ZrO₂缓冲层的硅衬底“KRYSTAL Wafer”,成功在硅衬底上高质量地生长出强关联氧化物LaNiO₃薄膜,并验证了通过电学操作可逆性调控其热导率的技术。本研究表明,得益于 KRYSTAL Wafer 所具备的优异外延生长环境,LaNiO₃ 得以展现出高度的功能性,这一成果为热控器件的开发开辟了新的技术可能性。
I-PEX Piezo Solutions Inc. 获得了 “2024 年溅射和等离子工艺技术委员会奖”,该奖项旨在表彰为溅射和等离子工艺技术发展做出贡献的杰出成就。

压电MEMS代工服,使用卓越的压电成膜和MEMS加工技,支持各高性能压电MEMS品的开

能够提供冲晶行特定的MEMS加工,通灵活的服足客戸的需求。