[技術開発中]

当社はKRYSTAL^® Wafer の優れた単結晶成膜技術を応用し、単結晶薄膜PZTの積層成膜技術（2層PZT）を開発しています。
圧電特性が向上し、高出力・高精度なアクチュエーター駆動を実現可能。6インチと８インチウエハーにて開発中。詳細についてはお問合せください。お問い合わせ

 

 

 

1層PZTと2層PZT薄膜の圧電特性データ比較

※現時点の測定数値データのため、今後の改良等により変わる場合があります。

 

積層PZTの応用事例（MEMSミラーの場合）

 

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