晶圓產品 (KRYSTAL® Wafer)

KRYSTAL Wafer

 

KRYSTAL® Wafer

優質的KRYSTAL® Wafer用於壓電MEMS，通過ZrO2緩衝為各種壓電材料進行單晶化。

 

 

標準 PZT KRYSTAL® Wafer

    Standard KRYSTAL Wafer Product List
    • 標準基材尺寸: 6 英寸和8英寸尺寸

    頂電極單晶PZT晶圓

    PZT with Top Electrode Wafer

     

    單晶PZT晶圓

    PZT Wafer

     

    底電極SRO/Pt晶圓 (SRO/Pt/ZrO2)

    Bottom Electrode SRO/Pt Wafer

     

    底電極Pt晶圓 (Pt/ZrO2)

    Bottom Electrode Pt Wafer

     

    ZrO2 緩衝晶圓 (ZrO2)

    ZrO2 Buffer Wafer

    除了在矽晶圓上進行標準沉積之外，我們也提供客製化沉積服務，例如在不同厚度的矽晶圓上進行沉積、在 SOI 晶圓上進行沉積，以及在客戶提供的晶圓上進行沉積。

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    新技術發展

    • 多層單晶 PZT (2 層) 晶圓

    2-layer PZT wafer採用卓越的沉積技術，沉積多層單晶 PZT。改善壓電特性，實現高功率和高精度致動器驅動。
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    • 氮化鋁 (AlN) 薄膜晶片

    AlN wafer使用我們獨特的 ZrO2 緩衝層技術，在矽晶圓上實現 AlN 磊晶成長。
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    Mechanism of KRYSTAL wafer