多层单晶PZT (2层PZT) 薄膜

[开发中]

我们运用先进的沉积技术，正在开发多层单晶PZT（2层PZT）晶片。其压电性能得到提升，可实现高功率、高精度的致动器驱动。
正在开发6英寸和8英寸晶圆。详情请联系我们。 联系我们

2-layer PZT wafer

 

2-layer PZT

 

1 层和 2 层 PZT 的压电特性

Piezoelectric Properties

注：这些是当前的测量数据。可能会因改进等原因而发生变化。

 

2层 PZT 应用实例 (MEMS Mirror)

2-layer PZT application
与 1 层 PZT 相比，2 层 PZT 的光角增加了一倍*。
*相同输入电压下的模拟示例

 

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