[开发中]

我们正在运用自身先进的沉积技术，在硅晶圆上进行AlN外延生长。
正在开发6英寸和8英寸晶圆。详情请联系我们。 联系我们

 

 

氮化铝 (AlN) 薄膜的特性

*Uniformity ±0.66%是特殊要求。注：这些数据可能会因改进等原因而发生变化。

 

压电特性d33测量方法

请参阅我们的压电特性d33测量方法文档。下载d33测量方法

 

氮化铝 (AlN) 薄膜的结晶度

晶格常数对齐，外延氮化铝薄膜质量好，晶体取向度高。

注：这些数据可能会因改进等原因而发生变化。

 

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