多層單晶PZT (2層PZT) 薄膜

[開發中]

我們運用卓越的沉積技術，開發出多層單晶 PZT（2層 PZT）晶圓。其壓電性能得以提升，可實現高功率且高精度的致動器驅動。
在開發 6 吋和 8 吋晶圓。詳情請與我們聯繫。 聯繫我們

2-layer PZT wafer

 

2-layer PZT

 

1層和2層 PZT 的壓電特性

Piezoelectric Properties

註： 這些資料可能會因改進或其他原因而有所變更。

 

Application example of 2-layer PZT (MEMS Mirror)

2-layer PZT application
與 1 層 PZT 相比，2 層 PZT 的光學角度增加一倍*
*相同輸入電壓下的模擬範例

 

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