[開發中]
我們正運用自身卓越的沉積技術,在矽晶圓上進行 AlN 外延生長。
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氮化鋁 (AlN) 薄膜的特性
*Uniformity ±0.66% 為特殊產品。 註: 這些資料可能會因改進或其他原因而有所變更。
壓電特性d33測量方法
請參閱本公司壓電特性d33測量方法的相關文件。下載d33測量方法
氮化鋁 (AlN) 薄膜的結晶度
確認晶格常數已對齊,且 AlN 晶體薄膜的取向性高且品質優良。
註: 這些資料可能會因改進或其他原因而有所變更。
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